真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，熱處理質(zhì)量大大提高。與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。

真空熱處理不僅可實(shí)現(xiàn)鋼件的無(wú)氧化、無(wú)脫碳，而且還可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)的無(wú)污染和工件的少畸變，因而它還屬于清潔和精密生產(chǎn)技術(shù)范疇。

小型真空熱處理爐適用于高速鋼、不銹鋼、模具鋼等一些淬透性比較好的材料的真空熱處理，特點(diǎn)是零件變形量小、零件熱處理后不需要清洗。不足之處有淬火氣體不能回收、成本較高。真空高壓氣淬爐從結(jié)構(gòu)上可分為臥式和立式兩種。臥式可分為單室、雙室和三室等。

小型真空熱處理爐的自動(dòng)化程度之所以較高，是因?yàn)榻饘俟ぜ募訜?、冷卻等操作，需要十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來(lái)完成。這些動(dòng)作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行，操作人員無(wú)法接近。同時(shí)，有些動(dòng)作如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進(jìn)行淬火工序須六個(gè)動(dòng)作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。在這樣迅速的條件來(lái)完成許多動(dòng)作，是很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此，只有較高的自動(dòng)化才能準(zhǔn)確、及時(shí)按程序協(xié)調(diào)動(dòng)。

熱處理爐根據(jù)零件材料可選擇中高溫和低溫，（中高溫800℃～1350℃、低溫800℃）。